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設備亮點
1.國內首臺激光剝離量產設備；
2.采用DPSS激光器作為激光光源；
3.自主研發的可用于穩定生產的激光倍頻模組；
4.加工幅面大，可選擇性加工2-6寸晶圓；
5.搭載高精度CCD相機，能實現精準區域剝離；
6.加工性能優越、穩定性好，可全自動上下料，24小時持續生產；
7.激光光束、功率穩定，加工效率遠高于準分子激光器設備；
8.聚焦焦深長達1000μm，對于一定范圍內翹曲的晶圓也可保證穩定的剝離效果。
實際效果
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