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大族激光顯視與半導體裝備事業部
地址：深圳市寶安區福永蠔業路萬延工業區-6棟 大族顯視與半導體（福永地鐵站A出口直行800米）
郵編： 518126
總機：0755-86159293
傳真：0755-86632851
郵箱：hansdsi@hanslaser.com
LED激光剝離設備
適用于LED垂直結構、MicroLED等，從基板上剝離藍寶石。設備亮點
1.國內首臺激光剝離量產設備；
2.采用DPSS激光器作為激光光源；
3.自主研發的可用于穩定生產的激光倍頻模組；
4.加工幅面大，可選擇性加工2-6寸晶圓；
5.搭載高精度CCD相機，能實現精準區域剝離；
6.加工性能優越、穩定性好，可全自動上下料，24小時持續生產；
7.激光光束、功率穩定，加工效率遠高于準分子激光器設備；
8.聚焦焦深長達1000μm，對于一定范圍內翹曲的晶圓也可保證穩定的剝離效果。
實際效果
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