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大族激光顯視與半導體裝備事業部
地址:深圳市寶安區福永蠔業路萬延工業區-6棟 大族顯視與半導體(福永地鐵站A出口直行800米)
郵編: 518126
總機:0755-86159293
傳真:0755-86632851
郵箱:hansdsi@hanslaser.com

全自動激光解鍵合設備
應用領域:適用于半導體封裝臨時鍵合的拆解。示例機型:
DSI-S-DB660
應用領域Application:
適用于半導體封裝臨時鍵合的拆解。
Applied to break the temporary bond in wafer packaging.
主要特點Main Features:
● 全自動兼容8寸、12寸片生產,帶條碼自動掃描系統;
Automatic production, compatible with 8 & 12 inch wafer, with bar code auto-scanning system;
● 配合特殊剝離涂層,有效減少材料損傷,良品率高;
With special coating material, effectively reduce the damage, high yield;
● 采用先進的光斑整形技術,光斑均勻分布;
Advanced beam forming technique and uniformly distributed light spot;
● 擁有光斑質量監控與反饋系統,保證光斑的穩定性;
Beam quality monitor and feedback system ensure the quality and stability;
● 攜帶激光加工能量監控與自動補償系統,保證能量的穩定性;
Laser power detector and negative feedback system, provide energy stability;
● Carrier自動分離與回收功能;
Carrier auto separation and recycle system;
● Warped Wafer Handling功能。
Warped Wafer Handling Function.
主要參數 Main Parameters:
可加工晶圓尺寸(Wafer Size) | 8inch、12 inch |
加工速度( Processing Speed) | 最大1000mm/s |
X 、Y軸精度(X,Y Axis Accuracy) | 直線度(Straightness):±1.0μm ; 重復定位精度(Repeating Accuracy):±1μm;定位精度(Positioning Accuracy):±1μm |
Z軸升降范圍(Z Axis Range) | 0~30mm |
Z軸重復精度誤差(Z Axis Repeating Accuracy Error) | ±1μm |
長×寬×高(L × W × H) | 2100mm×2050mm×1860mm |
實例效果 Sample Effect:
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